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當前位置：儀器網 > 產品中心 > 行業專用儀器>其它行業專用儀器/儀表>探針臺>PXN-100 簡易探針臺
返回產品中心>| 參考價 | ￥1000-￥50000/臺 |
主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。
規格 | ||
Chuck（可選） | 4" 、6"或8" 不銹鋼，真空吸附型，獨立開關控制 | |
Chuck X-Y軸行程，精度 | 4"x4"、6"x6"、8"x8"，10um | |
Chuck 旋轉角度 | 0~360° | |
Chuck 旋轉角度微調精度 | 0.01° | |
Chuck快速升降（選配） | 4mm | |
Chuck微調升降（選配） | 4mm ，1um精度 | |
Chuck 平整度 | 5um | |
針座平臺 | U型設計，可放置8個MP-80M型針座，可擴展為O型平臺 | |
針座平臺平整度 | 5 um | |
需求 | ||
電力 | 220 VAC, 50Hz | |
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
尺寸 | ||
PXN-100 | 320mm長*320mm寬*450mm高（帶顯微鏡） | |
PXN-150 | 630mm長*460mm寬*600mm高（帶顯微鏡） | |
PXN-200 | 750mm長*555mm寬*600mm高（帶顯微鏡） | |
可選附件 | ||
加熱臺 | ||
防震桌 | ||
射頻測試探頭和線纜 | ||
有源探頭 | ||
低電流/電容測試 | ||
高壓測試 | ||
CCD視頻系統 | ||
液晶漏電分析套裝 | ||
屏蔽箱 | ||
鍍金Chuck | ||
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